제품정보
반도체 장비
Near Tool Buffer
개요
- 반도체 클린룸에서 OHT로부터 해당 장치로 수신 및 전달 받는 기능을 가지고 있으며, OHT로부터 전달받은 FOUP을 Buffer에 적재합니다. EFEM 또는 Sorter에 투입이 필요한 경우, 본 장치에 설치된 Robot이 Buffer에 적재된 FOUP을 EFEM 또는 Sorter에 이송해 주는 장치입니다.
특징
- 보관 대상 : 300mm Wafer FOUP
- Capacity
- 4 Loaders (from OHT)
- 8 Buffers - EFEM 또는 Sorter 가동률을 최대 50%까지 상승 가능
- EFEM 또는 Sorter의 S/W 변경 없이, 본 장치에서 E84통신 제어
- Robot 2축 (X-Z)
- 전원은 EFEM 또는 Sorter의 Hookup부를 통해 공급
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 박진우 부장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9632
- 이 메 일 : pjw412@rorze.co.kr
