제품정보
반도체 장비
Sorter
개요
- 300mm Wafer의 Sorting & Merging 기능을 수행합니다.
특징
- 최상의 청정 환경 구현 및 신뢰성
- Repeatability : ±0.1mm 이내
- Alignment 및 OCR 등 User 요청사항 적용 가능
- Applicable carrier
- 300mm FOUP (SEMI E47.1)
- Auto Door FOSB (SEMI M31) - 반송대상 : 300mm Silicon Wafer
- Interface Port : 2~4 in / out
- 반송 Interface : OHT, AGV, AMR
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 원준웅 차장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9636
- 이 메 일 : wjw287@rorze.co.kr
