제품정보
반도체 장비
N2 Wafer Stocker
개요
- Wafer 25Slots 보관용 1Pod를 1Tower에 8단 X 4 (800매)를 보관할 수 있습니다. 용도에 따라 Tower를 2개 사용한 1600매용 또는 4개를 사용한 3200매용을 사용합니다.
특징
- 보관 대상 : 300mm Wafer
- Capacity
- 1Pod = 25 Wafers
- 1Tower = 32 Pods (800 Wafers)
- Max. 4 Tower = 128 Pods (3,200 Wafers) - Pod 내 후면부 쪽에서 N2 분사, 외부 Shutter를 이용한 농도 유지
- 각 Pod는 Maintenance가 매우 용이
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 박진우 부장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9632
- 이 메 일 : pjw412@rorze.co.kr
