제품정보
반도체 장비
6" Reticle EFEM
개요
- 6" Mask를 공정장비에 반송해 주는 장비입니다.
특징
- 최상의 청정 환경 구현 및 신뢰성
- Repeatability : ±0.1mm 이내
- Ionizer 등 User 요청사항 적용 가능
- Applicable carrier
- EUV Pod (SEMI E152)
- RSP (SEMI E100) - 반송대상 : 6" Reticle, 150mm EUVL Reticle
- Interface Port : 2~3 in / out
- 반송 Interface : OHT
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 박진우 부장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9632
- 이 메 일 : pjw412@rorze.co.kr
