제품정보
반도체 장비
300mm Wafer EFEM
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STD EFEM
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차세대 EFEM
개요
- 300mm Wafer를 공정장비에 반송해 주는 장비이며, 대표 장비로는 STD EFEM과 차세대 EFEM이 있습니다.
특징
- 최상의 청정 환경 구현 및 신뢰성
- Repeatability : ±0.1mm 이내
- Aligner, Storage 등 User 요청사항 적용 가능
- Applicable carrier
. 300mm FOUP (SEMI E47.1)
. Auto Door FOSB (SEMI M31) - 반송대상 : 300mm Silicon Wafer
- Interface Port : 2~3 in / out
- 반송 Interface : OHT, AGV, AMR
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 박진우 부장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9632
- 이 메 일 : pjw412@rorze.co.kr
