8” Wafer CST 반송 Mobile Robot

개요

• 8” Wafer CST를 Stocker에서 각 공정 장비로 장애물을 회피하고, 자율주행으로 반송하는 Robot

특징

• 반송 대상 : 8” Wafer Cassette
• Capacity : 4 (Cassette) / 1 (Mobile Robot)
• 주행 속도 : 0.7 m/s
• 주행 오차 : ±100mm
• 정지 오차 : ±15mm
• 구성 축(총 7축) : 4축 SCARA Robot, Z축, Outrigger, Gripper
• Safety : 전면/측면 Laser Scanner, Bumper Sensor, EMS
• 무선 WIFI 통신
• 최대 40대 연동 운영 가능
• 교차 주행, Multi Job, Double Job 수행 가능

제품 및 기술 문의

• 담  당  자 : 박진우 부장 (영업그룹)
• 전화번호 : 031-329-9632
• 이  메  일 : pjw412@rorze.co.kr