제품정보
Mobile Robot
Probe Card 반송 Mobile Robot
개요
- 12” Wafer 용 Probe Card를 Stocker에서 Probe Station 장비로 장애물 회피 및 자율주행으로 반송하는 Robot
특징
- 반송 대상 : 12” Wafer 용 Probe Card
- Capacity : 1 (Probe Card) / 1 (Mobile Robot)
- 주행 속도 : 0.7 m/s
- 주행 오차 : ±100mm
- 정지 오차 : ±15mm
- 구성 축(총 6축) : Z축, X축, Y축(2), Theta, Gripper
- Safety : 전면/측면 Laser Scanner, Bumper Sensor, EMS - 무선 WIFI 통신
- 최대 40대 연동 운영 가능
- 교차 주행 가능
제품 및 기술 문의
- 담 당 자 : 박진우 부장 (영업그룹)
- 전화번호 : 031-329-9632
- 이 메 일 : pjw412@rorze.co.kr
